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XYZ軸螺紋驅動平臺(垂直)
3波長用物鏡PFL-10-UV/NUV-AG
α軸超小型擺動平臺
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θ軸帶通孔粗微調轉動平臺
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XY軸TSD平臺(帶有通孔)(TSD)
XY軸鋁合金十字交叉滾柱導軌平臺
菲涅耳斜方形波長板支架
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